電子級單晶金剛石

高純電子級單晶金剛石（Electronic Grade Single Crystal Diamond, E-SCD），採用超高純氣源微波等離子體化學氣相沉積工藝同質外延生長，選用標準{100}晶面，全程嚴控晶格缺陷與微量雜質含量。區別于普通散熱級單晶金剛石，本品滿足半導體晶圓制程標準，具備極低位元錯密度、超高絕緣性能、穩定電學參數與極致導熱性能，既可作為第三代半導體高熱流散熱襯底，也可用於金剛石器件外延、離子注入、輻射探測、量子傳感等精密半導體工藝，是高端半導體與光電行業專用高純單晶基材。